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发布时间:2022-09-05 12:41:48
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及***性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
真空检漏的具体方法 为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格,而升压率不合格,或者是两者都不合格,比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。 (1)极限压力合格,升压率不合格 极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤,本次主要讨论背压法检漏属于检漏步骤中的细检漏。继电器的背压检漏法一般分为三步: 1加氦压:将被检继电器放入充氦的压力罐中; 2净化:从压力罐中取出继电器,用氮气流或者空气流吹净继电器表面吸附的氦气。3检漏:将继电器放入检漏仪的检漏盒中进行检测,若继电器有漏,压入内腔的氦气会经过漏孔进入检漏仪,仪器上会有漏率显示。
仪器工作在稳定的状态,在仪器的检漏口喷一定量的氦气, 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式,仪器再按开始键,记录清氦所需时间。而通过实验表明,利用氮气来清氦的效率是高的。 鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的优越性,对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置,有效的避免了在检漏过程中,氦气残留对仪器检测灵敏度的影响,另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置,即仪器在检测到大漏时,仪器自动停止,防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择,利于对仪器的清氦,保证仪器检测的高灵敏度。
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